真空焼結炉は、主に半導体部品や電力整流器の焼結工程に使用されます。真空焼結、ガス保護焼結、従来型焼結のいずれにも対応可能です。半導体製造装置シリーズの中でも革新的な装置であり、斬新な設計思想、操作の容易さ、コンパクトな構造を特長としています。1台の装置で複数の工程を完了させることができ、真空熱処理、真空ろう付けなど、他の分野のプロセスにも使用できます。
真空焼結炉の使用に必要なスキル
高真空焼結炉は、真空引き後の水素充填による保護下でコイル内のタングステンるつぼを高温にし、中周波誘導加熱の原理に基づいて熱放射によってワークに熱を伝達する装置です。タングステン、モリブデン、およびそれらの合金などの耐火合金の粉末成形および焼結に適しており、科学研究機関や軍事産業で利用されています。電気炉の設置場所は真空衛生の要件を満たし、周囲の空気は清浄で乾燥しており、換気条件が良好である必要があります。作業現場では粉塵などが舞い上がりにくい環境が求められます。
真空焼結炉の日常的な使用スキル:
1. 制御盤内のすべての部品と付属品が揃っていて、破損がないことを確認してください。
2. 制御盤は、対応する基礎の上に設置し、固定するものとする。
3. 配線図および電気回路図を参照して、外部主回路と制御回路を接続し、確実に接地して正しい配線を確保します。
4. 電気製品の可動部分が引っかかることなくスムーズに動くことを確認してください。
5. 絶縁抵抗は2メガオーム以上でなければならない。
6. 真空電気炉のすべてのバルブは閉じた状態にしておく必要があります。
7. コントロール電源スイッチをオフにします。
8. 手動圧力調整ノブを反時計回りに回します。
9. アラームボタンを「開」の位置にしてください。
10. 設計図に従って、機器の循環冷却水接続を完了してください。循環水の供給停止や停電によるシールリングの焼損を防ぐため、機器の主入口および出口配管に予備水(水道水など)を接続しておくことをお勧めします。

投稿日時:2022年5月7日