真空炉の様々な故障に対する緊急対策は何ですか？

真空炉の様々な故障に対する緊急対策は何ですか？

真空炉の各種故障に対する緊急対策は何ですか？突然の停電、断水、圧縮空気の遮断、その他緊急窒素供給や緊急冷却水供給を含む緊急事態が発生した場合は、直ちに以下の緊急対策を実施してください。主な対策は以下のとおりです。

1．加熱室が加熱され、電源が切れたとき
1) 機器の電源を直ちに完全に切ってください。
2) 各配管の真空弁を閉じて、真空炉内に空気が入らないようにします。
3) 加熱室の換気に高純度窒素を使用し、6.6 × 10⁻⁴ の速度で炉をできるだけ早く冷却します。同時に、冷却室を事前に換気してゲートバルブを加熱します。
4) 冷却および給水に再生水を使用する場合は、予備水（水道水または貯水池）を使用する。
2．加熱室が水を加熱するとき
1) 直ちに暖房の電源を切ってください。
2) 待機水を有効にする。
3) ワークピースを加熱室から冷却室に移し、窒素を充填して部品を急速に冷却します。
4) 高純度窒素を充填し、チャンバーを加熱して150℃以下に急速に冷却します。
3．加熱室を加熱した際に部分的な漏れが発生した。
1) 漏れ箇所を真空セメントで直ちに塞ぐ。
2) 直ちに暖房の電源を切ってください。
3) 加熱室には直ちに高純度窒素を充填し、炉前面の圧力を第1レベルに近づけて空気の侵入を低減する。
4．フロー操作
1) 短時間、水が出ない、または水圧が不十分な場合は、音声および視覚による警報システムを設置できますが、作業には影響しません。通常どおり作業を継続できます。
2) 給水が停止した場合、または水圧が不足し、その状態が20分以上続くと予想される場合は、直ちに加熱を停止してください。水圧が正常に戻ったら、ゼロから加熱を再開してください。このとき、加熱室の温度がちょうど適切な状態になった時点で、均一なプロセス曲線に基づいて加熱を開始してください。
5．電源操作
電源システムにおいて、停電時に「給油」または「給油」が発生した場合は、すべての空気圧バルブを直ちに閉じなければなりません。具体的な罰則方法は以下のとおりです。
1) 「給餌」プロセスに遭遇した場合は、「アクティビティ」を「手動」モードに変更します。呼び出し後、手動操作キーを使用して「給餌プロセス」を完了し、「手動」を「アクティビティ」に変更して、通常の基準に従って作業を続行します。
2) 「供給」工程に遭遇した場合は、直ちに人員を配置して材料を取り除き、人員とともにゲートバルブを閉じます。呼び出し後、最初の作業の開始から始めます。いわゆる「人員」とは、DCモーターまたは装置のテールの下で手を振って機構を人為的に動作させる人のことです。