特徴:

1) 窒化速度が速く、窒化サイクルを適切に短縮でき、イオン窒化時間をガス窒化時間の 1/3 ～ 2/3 に短縮できます。

2) 窒化層の脆性は小さく、プラズマ窒化処理表面に形成される白層は非常に薄く、あるいは全く形成されません。また、窒化層による変形も小さいため、特に複雑な形状の精密部品に適しています。

3) エネルギーとアンモニアの消費量を節約できます。電気エネルギー消費量はガス窒化法の1/2～1/5、アンモニア消費量はガス窒化法の1/5～1/20です。

4) 窒化を望まない部分がグローを発生しない限り、局所的な窒化は容易に実現でき、非窒化部分は保護しやすく、グローは機械的なシールドと鉄板によって保護できます。

5) イオン衝撃により表面を浄化し、不動態皮膜を自動的に除去します。ステンレス鋼や耐熱鋼は、事前に不動態皮膜を除去することなく直接窒化処理できます。

6) 複合層構造、浸透層の厚さおよび構造を制御できます。

7) 処理温度範囲が広く、350℃以下でも一定の厚さの窒化層が得られます。

8) 労働条件が改善されました。汚染のないプラズマ窒化処理は、非常に低圧で排気ガスもほとんど出ない状態で行われます。ガス源は窒素、水素、アンモニアで、有害物質はほとんど発生しません。

9) ガス窒化では低温窒化が極めて難しいのに対し、ステンレス鋼、窒化温度の高い耐熱鋼、窒化温度の低い工具鋼や精密部品など、あらゆる材料に適用できます。