特徴：

1) 窒化速度が速く、窒化サイクルを適切に短縮でき、イオン窒化時間をガス窒化時間の1/3～2/3に短縮できます。

2) 窒化層の脆性が低く、プラズマ窒化処理によって表面に形成される白色層は非常に薄いか、あるいは全く形成されません。さらに、窒化層による変形も小さいため、複雑な形状の精密部品に特に適しています。

3) エネルギーとアンモニアの消費量を節約できます。電気エネルギー消費量はガス窒化の1/2～1/5、アンモニア消費量はガス窒化の1/5～1/20です。

4) 局所窒化は容易に実現できます。窒化したくない部分が発光しなければ、非窒化部分は容易に保護でき、発光は機械的遮蔽や鉄板で保護できます。

5) イオン照射により表面を浄化し、不動態皮膜を自動的に除去できます。ステンレス鋼や耐熱鋼は、不動態皮膜を事前に除去することなく直接窒化処理できます。

6) 複合層構造、浸透層の厚さおよび構造を制御できる。

7) 処理温度範囲が広く、350℃以下でも一定の厚さの窒化層が得られます。

8）労働環境が改善されました。無公害プラズマ窒化処理は、非常に低い圧力下で、排ガスもごくわずかで行われます。ガス源は窒素、水素、アンモニアであり、基本的に有害物質は発生しません。

9) ステンレス鋼、高窒化温度の耐熱鋼、低窒化温度の工具鋼や精密部品など、あらゆる種類の材料に適用できますが、ガス窒化では低温窒化は非常に困難です。